جدول المحتويات:
- التعريف - ماذا يعني النظام الكهروميكانيكية الصغرى (MEMS)؟
- تيكوبيديا توضح النظام الكهروميكانيكية الصغرى (ممس)
التعريف - ماذا يعني النظام الكهروميكانيكية الصغرى (MEMS)؟
يعد النظام الكهروميكانيكي الدقيق (MEMS) عبارة عن وحدة ميكانيكية صغيرة تعمل بالكهرباء. تدمج NEMS أجهزة الكمبيوتر مع الوحدات الميكانيكية مثل أجهزة الاستشعار والمحركات والمرايا. إنها أنظمة فعالة من حيث التكلفة تستخدم تقنية تصنيع الأجهزة المعدلة.
لدى ممس مجموعة متنوعة من الاستخدامات وتأتي في مجموعة واسعة من أساليب تصميم التصنيع ، مع الاستفادة من المكونات المختلفة ، والتصغير والأنظمة الكهروميكانيكية المتكاملة القياسية الجديدة. يمكن استخدام MEMS للحفر الرطب مثل هيدروكسيد البوتاسيوم (KOA) ، والحفر الجاف مثل النقش الأيوني التفاعلي العميق (DRIE) والقولبة والطلاء وآلات التفريغ الكهربائي (EDM) وغيرها من التقنيات التي تنتج أجهزة صغيرة.
يمكن أيضًا الإشارة إلى النظام الكهروميكانيكية الجزئي على أنه نظام إلكتروني دقيق ، أو مايكرومشين ، أو تكنولوجيا مايكروسيستمز أو مادة ذكية.
تيكوبيديا توضح النظام الكهروميكانيكية الصغرى (ممس)
يمكن أن تكون ممس أصغر من عرض شعرة الإنسان وقد تشمل عدة مكونات مثل:
- Microsensors
- المشغلات
- المعالجات
- الوحدات المركزية لمعالجة البيانات
- مكونات للتفاعل مع العناصر الخارجية
تمتلك منطقة ممس مساحة كبيرة إلى نسبة حجم ويتم بناؤها باستخدام تقنية تصنيع السيليكون.
يشتمل جهاز MEMS على دوائر كهربائية دقيقة يتم وضعها على شريحة سيليكون صغيرة تستخدم مع المكونات الميكانيكية. تدعم هذه التقنية مجموعة كبيرة ومتنوعة من الأجهزة التي تتحكم في العمليات الميكانيكية أو تستشعرها أو تنشطها بينما تعمل كصفيف أو بشكل فردي.
في الوقت الحالي ، تضم "ممس" مُصغرًا أو جهازًا دقيقًا واحدًا متميزًا في بنيتها ، ولكن قد تحدث مستويات أكثر تعقيدًا من الاستيعاب في المستقبل. قد يكون التطوير التالي هو دمج العديد من الميزات الفردية في نظام واحد.
