ما هو الطباعة الحجرية فوق البنفسجية القصوى (euvl)؟ - تعريف من techopedia

التعريف - ماذا تعني الطباعة الحجرية فوق البنفسجية (EUVL)؟

الطباعة الحجرية المتطرفة فوق البنفسجية (EUVL) هي تقنية ليثوغرافية متطورة ودقيقة للغاية تسمح بتصنيع الرقائق الدقيقة بميزات صغيرة بما يكفي لدعم سرعات الساعة 10 جيجا هرتز.

يستخدم EUVL غاز زينون فائق الشحن ، والذي ينبعث الضوء فوق البنفسجي ويستخدم مرايا دقيقة للغاية لتركيز الضوء على رقاقة السيليكون لإنتاج عروض ميزة أكثر دقة.

يشرح Techopedia الطباعة الحجرية فوق البنفسجية (EUVL)

في المقابل ، تستخدم تقنية EUVL مصدرًا للعدسات فوق البنفسجية وعدسات لتركيز الضوء. هذا ليس دقيقًا بسبب الحد من العدسات.

عملية EUVL هي كما يلي:

1. يتم توجيه الليزر إلى غاز زينون ، والذي يعمل على تسخينه لإنتاج البلازما.
2. يشع البلازما الضوء عند 13 نانومتر.
3. يتم تجميع الضوء في مكثف ثم توجيهه إلى قناع يحتوي على تخطيط لوحة الدوائر. القناع هو في الواقع مجرد تمثيل نمط لطبقة واحدة من الشريحة. يتم إنشاء هذا عن طريق تطبيق امتصاص على بعض أجزاء من المرآة ولكن ليس على أجزاء أخرى ، وخلق نمط الدائرة.
4. ينعكس نمط القناع على سلسلة من أربعة إلى ستة مرايا ، والتي تصبح أصغر حجمًا تدريجياً من أجل تقليص حجم الصورة قبل تركيزها على رقاقة السيليكون. تنعكس المرآة الضوء قليلاً لتشكيل الصورة ، مثل طريقة عمل مجموعة من العدسات في الكاميرا لثني الضوء ووضع صورة على الفيلم.