جدول المحتويات:
التعريف - ماذا تعني النانوليتوغرافيا؟
تعتبر الطباعة بالليزر النانومترية فرعًا من تقنيات النانو واسم عملية الطباعة أو الكتابة أو النقش على مستوى مجهري من أجل إنشاء هياكل صغيرة بشكل لا يصدق. عادةً ما تستخدم هذه العملية لإنشاء أجهزة إلكترونية أصغر وأسرع مثل شرائح micro / nanochips والمعالجات. تستخدم الطباعة الحجرية النانوية بشكل أساسي في مختلف قطاعات التكنولوجيا من الإلكترونية إلى الطبية الحيوية.تيكوبيديا تشرح النانوليتوغرافيا
الليثوغرافيا النانوية مصطلح واسع يستخدم لوصف العمليات المختلفة لإنشاء أنماط النانو على وسائط مختلفة ، وأكثرها شيوعًا هو مادة السيليكون شبه الموصلة. الغرض السائد من الطباعة الحجرية النانومترية هو تقلص الأجهزة الإلكترونية ، مما يسمح بتجميع الأجزاء الإلكترونية في المساحات الأصغر ، أي الدوائر المتكاملة الأصغر التي تؤدي إلى أجهزة أصغر ، والتي تكون أسرع وأرخص في التصنيع نظرًا لوجود مواد أقل. هذا أيضًا يزيد من أوقات الاستجابة والأداء لأن الإلكترونات تحتاج فقط إلى السفر لمسافات قصيرة جدًا.
بعض التقنيات المستخدمة في الطباعة الحجرية هي كما يلي:
- الطباعة الحجرية بالأشعة السينية - يتم تنفيذها من خلال نهج الطباعة عن قرب وتعتمد على الأشعة السينية القريبة من المجال في حيود فريسنل. ومن المعروف أن تمديد الدقة البصرية إلى 15 نانومتر.
- نقش مزدوج - طريقة تستخدم لزيادة درجة الدقة في عملية الطباعة الحجرية عن طريق طباعة نقوش إضافية بين مسافات الأنماط المطبوعة بالفعل في نفس الطبقة.
- الطباعة الحجرية ذات الكتابة المباشرة (EBDW) لحزمة الإلكترون - العملية الأكثر شيوعًا المستخدمة في الطباعة الحجرية ، والتي تستخدم حزمة من الإلكترونات لإنشاء أنماط.
- الطباعة الحجرية المتطرفة (UVV) - شكل من أشكال الطباعة الحجرية الضوئية التي تستخدم أطوال موجات ضوئية فائقة القصر تبلغ 13.5 نانومتر.
